Kompetenzen - Fraunhofer IOF
2019-6-28 · Photolithographie, Laserstrahllithographie, Drucken funktionaler Materialien, Stochastischer Strukturen zur Entspiegelung, Elektronenstrahllithographie, UV-Abformung, Kombination von Lithographie, Trockenätzen und Abformung, Abformwerkzeuge, Mikro- und …